12英寸全自動射頻探針臺產品特點：

1.專為多種晶圓測試應用而設計

●模塊量測-DC-IV,DC-CV,Pulse-IV，ESD,1/f。

●射頻、毫米波、射頻頻率可設置可從26GHz到110GHz或更高。

●晶圓級可靠性-用于精確的壓力和測量條件。

●lin先的測試執行軟件套裝的驅動程序。

2.WaferWalletTM操作平臺

●設計有五個單獨的托盤，可按人體工學方式手動裝載150、200或300毫米的“模型”晶圓。

●在多個溫度條件下全自動測試可多達五個相同的晶圓。

●有在任何溫度下裝載/卸載晶片的*能力。

3.ShielDEnvironment™屏蔽環境

●專為EMI/RFI/Light-tight屏蔽所設計的精密量測環境，以得到最佳的1/f超低噪測試結果。

●支援fA ji超低噪IV量測。

●可編程的顯微鏡滑臺實現自動化之簡便操作。

●具配置彈性的溫度可量測范圍-60°C至300°C。

4.工效學設計及彈性選配

●從正面輕松放置晶片或單個DUT。

●內建防震系統。

●完整的硬件操控整合，方便更快速安全的量測操作。

●安全測試管理系統(Safety Test Management,STM™)選配具自動進行露點控制功能。

●預留制冷機組空間，節省空間不占位。

●儀器架選配，可縮短射頻電纜之架設長度，提供最高的量測機能。

12英寸全自動射頻探針臺設備簡介：

TS3500和TS3500-SE在功能上與MPI著名的已建立的TS3000和TS3000-SE 300毫米探針臺具有相同的功能，通過配置或升級MPI*的WaferWallet™，可以實現全自動功能。MPI的解決方案通過提供比其他供應商的半自動化產品更少的*自動化功能，降低了客戶的總體測試成本。